传感器的基础技术——MEMS（微电子机械系统）有两个开发趋势，即“廉价大量”和“高性能且划算”。日本东北大学教授田中秀治（工学研究科生物机器人专业微系统融合研发中心），在2015年7月21日举办的“技术员讲堂”的“为车载传感器和IoT器件带来革新的MEMS技术”讲座（主办：日经BP社）上这样讲。

田中表示，要求“廉价大量”的，是IoT（Internet of Things）用传感器和无线通信器件。需要“高性能且划算”的，则是自动驾驶、机器人使用的陀螺仪、测距仪、红外线图像传感器和麦克风。

田中对基于这些器件的基础技术应用动向作了详细讲解。连同在2015年举办的国际学会“IEEE MEMS 2015”及传感器尖端技术云集的“Transducers 2015（18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems）”上发表的内容，介绍了理解其发表内容所需的基础技术。

精度与智能手机用数量级不同，技术到了变革期

其中关于陀螺仪，因对汽车自动驾驶技术的需求增加与要求提高，要求与以往不同的技术。最新研究成果的目标，是要实现比智能手机内置产品高出一个数量级的精度。

在演讲中，田中具体展示了自动驾驶要求的偏置稳定性，它的实现需要对现有消费类产品的技术加以改进。田中介绍了几项似可成为新技术萌芽的研究事例。其中一种是振动陀螺仪的“模式匹配”。

振动陀螺仪是对构成传感器的“驱动用”微元件施加振动，再用“传感用”微元件检测产生的科氏力的。以往，其精度是依靠驱动用和传感用器件共振频率的“模式失配”维持的。模式失配方式即使设计和制造的精度低，也不会对检测精度带来致命影响。

但是，为获得自动驾驶要求的精度，也有尝试摆脱这种方式的研究，这就是模式匹配方式的研究。这种方法以设计和制造精度极高为前提，使驱动用和传感用器件的共振频率一致。据称，若能顺利设计和制造，则有望达到极高的灵敏度。田中此番依照过去的研究历程，细致讲解了最新的研究成果。田中似乎认为：对于在MEMS制造和设计领域拥有强劲技术实力的日本企业，现在的技术变革期是一次个机遇。